WOP公司在微加工領域的核心能力：
超短激光微加工可行性研究
定制的激光微加工工作站和光模塊開發
激光系統自動化軟件
批量生產的激光微加工領域

深圳維爾克斯光電提供:WOP公司的飛秒加工系統產品分為實驗室用飛秒激光加工系統FemtoLAB和工業用飛秒激光加工系統FemtoFAB，下面是對這兩個產品的介紹。

實驗室用飛秒激光加工系統FemtoLAB
關鍵詞
實驗室級飛秒激光系統
飛秒激光微加工系統
激光微加工系統
激光加工系統
飛秒激光加工
藍寶石玻璃激光切割設備

Laser Micromachining System For Laboratory
Micromachining System For Laboratory
FemtoLAB,Workshop of photonics
FemtoLAB

產品定義
FemtoLAB這套飛秒激光微加工系統是為科學實驗研究開發的，其配置到納米級，包含有線性分辨率的定位平臺、掃描振鏡和通用微加工軟件SCA，是一套完整的應用在光學平臺上的飛秒激光加工實驗室。
WOP實驗室用激光微加工系統可根據客戶的實質需求而定制。WOP強大的技術能力和豐富的應用經驗使FemtoLAB系統優化，新用戶更易上手，提升了實驗效率，節省了使用者寶貴的實驗時間。

軟件控制功能
?可移動XYZ位移平臺
?旋轉軸轉動
?掃描振鏡
?可調激光參數
?使用者操作的機器視覺
?工作區域平均功率（回饋）
?偏振方向

參數
脈沖寬度 200fs-10ps
大脈沖能量 2mJ
重復頻率 1KHz-1MHz
高平均功率 12W
波長 1030nm,515nm,343nm,258nm,206nm
定位準確度 ±250nm

產品特點
?高速精密微加工
?工業級飛秒器
?支持要求亞微米級分辨率物體的制造
?飛秒加工模式有小熱影響區域
?納米精度的目標定位
?振鏡掃描器引導準確的激光束
?易改變激光參數
?原始軟件接口控制所有集成硬件設備
操作方便
?有4個可以使用的顯微鏡轉臺諧波轉換
?聚焦光學組件用顯微鏡轉臺切換控制
?焦斑測定使用共聚焦系統
?校準CCD自動成像
?CCD自動聚焦在樣品表面
?測定樣品傾斜度自動化
?控制成像和視頻采集過程
?制造軌跡和CCD視圖疊加
?實時過程跟蹤
?由鍵盤實施操縱
完整配置
?PHAROS飛秒激光器
?SH,TH,FH發生器(帶有光束傳輸)
?SH發生器振蕩輸出
?由XYZ試樣的定位系統
?掃描振鏡（安裝在XYZ上或通過4F光學系統傳遞）
?4個WATT PILOT衰減器
?4個偏振旋轉器
?自聚焦和機器視覺裝置
?SLM或其它波束成形器
?切換諧波反射鏡和聚焦光學器件的轉臺
?完全組裝的空間不超過1 m x 2.5 m
所有裝置都將在我們專有的微加工軟件SCA教學系統指導下自動操作。
應用
??表面要求微納結構
??雕刻
??鉆孔
??激光光刻和多光子聚合
??材料的折射率修正
??選擇層去除
??切削脆性材料
??光波導制備
??支持其它的任務擴展和補充裝置


工業用飛秒激光加工系統FemtoFAB

關鍵詞
飛秒激光加工機床
工業用飛秒激光
激光加工系統
激光打孔

激光銑削
Micromachining System

產品定義
FemtoFAB是飛秒激光系統在工業上的加工應用系統，配置選定后，根據客戶特定要求進行精密組裝調試，能做成激光切割，激光劃線，激光鉆孔，3D激光銑削（使用的激光峰值功率>2.4GW）。系統加工過程中要使用級激光安全防護罩保護并通過單個SCA工程軟件窗口控制。
SCA工程自動化軟件
為便于控制激光微加工過程而研發的系統控制應用程序（SCA），使單一軟件程序包含了所有硬件設備，不僅制作了整體的解決方案，而且在終用戶使用時可以將無關的設備控制程序去除。
?支持.bmp，.dxf，.stl文件輸出格式
?可設置非機器語言
?簡明直觀的用戶界面體驗
?工作區域平均功率（回饋）
?標準打印控制語言（支持HPGL）

參數
脈沖寬度 200fs-10ps
大脈沖能量 2mJ
重復頻率 1KHz-1MHz
高平均功率 12W
波長 1030nm,515nm,343nm,258nm,206nm
定位準確度 ±250nm

產品特點
?高加工速度，高達300mm/s（高要求）
?支持要求亞微米級分辨率物體的制造
?飛秒加工模式有小熱影響區域
?納米精度的目標定位
?使用電流計掃描儀
?脈沖密度控制（單點到350KHz）
?原始軟件接口控制所有集成硬件設備

高速度
76MHz振蕩輸出和達到1MHz放大輸出的脈沖重頻的高可靠度工業級飛秒激光系統，與Aerotech線性定位平臺以及掃描振鏡協調同步，在高速無熔微加工中優勢。

納米級分辨率
高分辨率目標定位系統（Aerotech?XYZ線性平臺）與激光光束位置控制器（掃描振鏡）以及激光脈沖選擇器協調同步控制空間，時間和能量區域，使系統可以亞微米分辨率下加工難處理物體。
Machine vision機器視覺
與Aerotech線性定位平臺同步，并為整個系統提供視覺的高分辨率CCD相機組成的機器視覺系統，能夠獲取物體的位置，形狀或任一特征并對激光光束進行相應的調整。

產品應用
??陶瓷劃片
??玻璃切割
??藍寶石切割
??激光鉆孔
??太陽能電池的制造
??雙折射圖案的制作
??其它精細微加工任務

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