PECVD射頻模塊
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更新時間：2024-10-12 09:01:52 信息編號：a23g50d60f5861

￥18600

≥ 1臺

價格：
18600.00 元
品牌：
鄭科探
類型：
PECVD射頻模塊
關(guān)鍵詞：
射頻范圍,發(fā)射功率,環(huán)境干擾,電源要求

邱迎迎

15136405012

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詳情介紹

PECVD射頻模塊

產(chǎn)品別名	PECVD射頻模塊,射頻電源,化學(xué)氣相沉積,半導(dǎo)體制造	面向地區(qū)	全國	品牌	鄭科探
類型	PECVD射頻模塊

PECVD射頻模塊：PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109--1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)物質(zhì)，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單，與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長溫度更低，管輝光均勻等效，薄膜均勻沉積。
型號 KT--PE150S KT-PE500Z
信號頻率 13.56MH? ±0.005%
功率輸出范圍 0-150W 0-500W
功率穩(wěn)定度 ≤5W
大反射功率 40W
射頻輸出接口 7/16 female 50 Ω
功率穩(wěn)定度 ≤5W
匹配方式手動調(diào)節(jié)匹配 500W自動匹配
耦合方式電感式耦合
輝光壓力 ≤30Pa
供電電壓 AC220V±10% 50/60H?
整機效率 ≥70%
冷卻方式強制風(fēng)冷
支持爐管直徑 Φ25mm--φ80mm Φ25mm--150mmφ
感應(yīng)區(qū) 210mm
整機重量 48KG
整機尺寸:H×W×D(mm) 600×600×1100

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