微型探針臺 一：產品參數
1． 產品名稱：新微型高低溫探針臺
2． 產品型號： KT-Z4019M4T-RL
3． 產品品牌：鄭科探 Zhengketan
4． 生產廠家：鄭州科探儀器設備有限公司
真空探針臺 二：功能要求
KT-Z4019MRL4T 測試腔體內部裝有不銹鋼加熱或制冷承載臺，臺面為φ30，臺 面高可升溫到高 400℃。臺面四周裝有微型 3 軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小 未封裝的叉指電極等傳感器測試。該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械 泵可達＜5Pa 分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用軍工級別真空電極信號接頭， 氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針處由 3 軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測 試電學信號
三：主要技術要求
1． 腔體材質 ：304 不銹鋼 6061 鋁合金 可選
2． 腔體內尺寸： 127mmX57mmX20mm
3． 腔體外尺寸： 150mmX80mmX32mm
4． 腔體重量：不銹鋼材質 約 1.5KG 鋁合金材質 約 0.5KG
5． 腔體上視窗尺寸：Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
6． 腔體抽氣口： KF16 法蘭（其余接口規格可轉接）
7． 腔體真空測量口： KF16 法蘭（其余接口規格可轉接）
8． 腔體進氣口 ：6mm 快擰 或 6mm 快插
9． 腔體冷卻方式：腔體水冷+上蓋氣冷
10． 腔體水冷接口： 6mm 快插
11． 允許正壓： ≤0.05MPa
12． 腔體真空度：機械泵≤5Pa （ 5 分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（ 30 分鐘）
13． 樣品臺材質：不銹鋼 銀銅合金 純銀塊銀銅合金 純銀塊
14． 樣品臺尺寸： 26x26mm
15． 樣品臺加熱方式 ：電阻加熱 液氮制冷
16． 樣品臺-視窗 距離：11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離 到 6mm）
17． 樣品臺測溫傳感器： PT100 型熱電阻
18． 樣品臺溫度：室溫到 400℃ 室溫到-190℃
19． 樣品臺測溫誤差： ±0.5℃
20． 樣品臺升溫速率：高溫 100℃/min 大值 低溫 7℃/min
21． 溫度顯示： 7 寸人機界面
22． 溫控類型：標準 PID 溫控 + 自整定
23． 溫度分辨率 ：0.1℃
24． 溫控精度： ±0.5℃
25． 溫度信號輸入類型： PT100 （可選 K S B 型熱電偶）
26． 溫控輸出：直流線性電源加熱+液氮流速控制器
27． 輔助功能：溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真 空讀數接口
28． 溫控器尺寸 ：32cmX170cmX380cm
29． 溫控器重量：約 5.6KG
30． 電信號接頭：配線轉接 BNC 接頭 BNC 三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉 插頭 線長 1.2 米
31． 電學性能：絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤ 10pA
32． 探針數量：4 探針（可擴展 5 探針）
33． 探針材質：鍍金鎢針 （其他材質可選）
34． 探針尖： 10μm
35． X 軸移動行程 ：20mm ±10mm（需手動推動滑臺）
36． X 軸控制精度： ≥500μm
37． R 軸移動行程： 120° ±60°（需手動旋轉探針桿）
38． R 軸控制精度： ≥500μm
39． Z 軸移動行程 ：2mm ±1mm
40． Z 軸控制精度： ≤50μm（需手動螺紋調節探針桿） 四：主要配置要求
1． 1 臺 · 新微型高低溫探針臺 KT-Z4019MRL4T
2． 1 臺 · 觸摸屏溫控箱
3. 1 個 · 6mm 聚四氟管
4. 1 根 · 電源線
5. 2 個 · 6mm 金屬內襯
6． 1 根 · 觸摸屏筆
7. 4 個 · SMA-香蕉插頭
8. 1 根 · 功率輸出線
9. 6 米 · 6mm 水冷管
10. 1 套 · K 型上蓋扳手、備用螺絲， 內六角
11. 選配: 分子泵真空機組 機械泵

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